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CARL ZEISS SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY
Betrag
110.000.000 €
Sektor(en)
Industrie
: 110.000.000 €
Länder
Deutschland
: 110.000.000 €
Unterzeichnungsdatum
5/09/2002
: 75.000.000 €
22/05/2003
: 35.000.000 €